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東邦化研株式会社 イオンプレーティング部
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表面処理で素材に新たな機能を
40年以上の豊富な実績と薄膜技術の東邦化研

イオンプレーティングや真空蒸着・プラズマCVD・スパッタリングなどによる
表面処理薄膜コーティング受託加工を行っております

東邦化研のサービス
豊富な経験と確かな薄膜技術
製造設備
高品質な成膜を実現するために
評価機器
要求を満たす薄膜を得るために
事業案内

ナノメートル単位から10ミクロンを超える厚膜（条件による）のコーティング
導電性・絶縁性・耐摩耗性・耐蝕性など機能性膜が可能

イオンプレーティング
真空蒸着より強い密着力を低温でも得られます
成膜条件の多様性が得られ、反応膜も可能
真空蒸着
基板へのダメージが少なく、純度の高い膜が形成
プラズマCVD
DLC（Diamond-Like Carbon）、SiO2、SiN、SiCの4膜種に対応
スパッタリング
高エネルギーを利用したTi系反応膜の形成
パターン成膜
必要な部位にのみ薄膜を施工
求める機能の発現が可能に
GCIB（ガスクラスターイオンビーム）
成膜技術で培った真空のノウハウ
薄膜で得た経験で『表面改質』を
技術紹介

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