製造設備

東邦化研では小型装置から大型装置まで幅広い装置を保有しており、お預かりした加工依頼品(基板)の開封から出荷梱包までの全工程をクリーンルーム内で行います。
設備や装置の一部をご紹介いたします。

真空蒸着・イオンプレーティング装置(小型)

7号機
8号機
10号機
18号機

真空蒸着・イオンプレーティング装置(中型)

2号機
4号機
11号機
19号機

真空蒸着・イオンプレーティング装置(大型)

6号機
17号機

スパッタリング装置

14号機

プラズマCVD装置

12号機
16号機

標準機器を基にして、東邦化研独自のカスタムを行った装置を用意しております。