加工実績

パターニング

メタルマスクやエッチング・リフトオフにより、パターニングすることが可能です。基板の材質や膜種によって加工方法が変わりますのでお問い合わせ下さい。

写真はSEMで観察した金属膜の断面像です。
膜種や成膜する対象物の表面粗さや耐熱温度にもよりますが、厚膜の対応が可能です。

過去の経験では、Al、Sn、In、Cu、SiO2などで、10μm以上を成膜した例も有ります。
お気軽にお問い合わせください。

写真はフィルムに成膜したものです。
膜種や厚みにもよりますが、曲げても剥がれたり、割れたりしません。

コーティング方法や膜種、膜厚にもよりますが、100℃以下でのコーティングが可能です。PCやPET、PEN、Pl、合成樹脂等、フィルムなどへの成膜も可能です。

その際の付着力は、樹脂の成型の仕方や表面状態、樹脂の種類などによって変わります。

写真はネジの全面（一部マスク）、段差のある面に膜を成膜したものです。

コーティングする角度や方式によって立体物への成膜が可能です。

基板を真空チャンバー内で動かす等の工夫をすることで、ご希望箇所への成膜が可能です。

左の写真は大判ガラスに成膜したものです。
（ガラスサイズ：540×860mm）

最大で、800×1000mmの平面エリアに成膜できます。

この装置はインライン方式ですので、一日である程度まとまった数量を成膜できます。
ただし、この装置では製品形状に制限が有りますので、一度お問い合わせ下さい。