当社では、イオンプレーティング部発足以来、お客様にご満足いただけるよう各手法による表面処理加工を目指し“受託薄膜加工一筋”で営業しております。
単金属膜をはじめ、酸化膜、炭化膜、窒化膜、合金膜、またこれらの多層膜(積層膜)と様々な膜種に実績を残してまいりました。豊富な経験と確かな薄膜技術の東邦化研へお任せ下さい。
コーティングの種類
対応可能膜種
:過去経験のある膜種に含まれる元素
1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | |
1 | H | He | ||||||||||||||||
2 | Li | Be | B | C*1 | N*1 | O*1 | F*1 | Ne | ||||||||||
3 | Na | Mg | Al | Si | P | S | Cl | Ar | ||||||||||
4 | K | Ca | Sc | Ti | V | Cr | Mn | Fe | Co | Ni | Cu | Zn | Ga | Ge | As | Se | Br | Kr |
5 | Rb | Sr | Y | Zr | Nb | Mo | Tc | Ru | Rh | Pd | Ag | Cd | In | Sn | Sb | Te | I | Xe |
6 | Cs | Ba | *2 | Hf | Ta | W | Re | Os | Ir | Pt | Au | Hg | Tl | Pb | Bi | Po | At | Rn |
7 | Fr | Ra | *3 | Rf | Db | Sg | Bh | Hs | Mt | Ds | Rg | Uub | Uut | Uug | Uup | Uuh | Uus | Uuo |
*1:炭化物、窒化物、酸化物、フッ化物に含まれます。
*2:ランタノイド
La | Ce | Pr | Nd | Pm | Sm | Eu | Gd | Tb | Dy | Ho | Er | Tm | Yb | Lu |
*3:アクチノイド
Ac | Th | Pa | U | Np | Pu | Am | Cm | Bk | Cf | Es | Fm | Md | No | Lr |
未経験膜種に関しましても“トライ”してまいりますので、是非ご相談下さい。
(実施後、表に追加されます。)
対応膜種
- 金属膜
-
Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、Ti、Y、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、C、Sn、Pt など
- 積層膜
-
Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr など
- 酸化膜
-
Al2O3、SiO2、Y2O3、TiO2、Cr2O3、InO2、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、ZrO2、ZnO など
- 炭化膜
-
TiC、SiC、DLC など
- 窒化膜
-
AlN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN など
- フッ化膜
-
MgF2 など
- 合金膜
-
Au-Sn、Ag-Sn、Ni-Cr など
コーティングの対象物
多くのお客様より、様々な材質や形状の基板(コーティング対象物)へのご依頼を頂き、これにお応えしてまいりました。
その一部ではありますが、代表例を下記にまとめております。
基板代表例
金属の場合 | SUS材、Al材、Mg材、Ti材、等 樹脂やパターンなどが既に成膜してある等、温度を極力かけたくない場合もお気軽にご相談ください。 |
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樹脂・フィルムの場合 | PC、PET、PEN、PI、等 低温で成膜可能な装置もございます。樹脂の種類や対象物の耐熱温度、表面状態などにより成膜方法を検討しますので、お気軽にご相談ください。 |
セラミックスの場合 | Al2O3、SiC、AlN、ZrO2、等 樹脂やパターンなどが既に成膜してある等、温度を極力かけたくない場合もお気軽にご相談ください。 |